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氢氟酸、硝酸处理设备
Hydrofluoric acid and nitric acid removal plan

流程概要

这是由碱洗涤塔、触媒反应塔、气体加热器组成,能够同时将排气中的氢氟酸、硝酸、氮氧化物无害化的设备。

特点

  • 能够处理各种浓度的有害气体
  • 能够有效利用余热
  • 使用有序填充物MIRAX,能够实现比现存设备更加紧凑的设计

填充物的详细信息可在此查看。

实施例

处理对象 半导体生产业的排气
处理气体性状 含HF, HNO3, NOx 的混合排气
处理气体量 20,000 m³/h (NTP)
运行时间 24小时连续
有害气体去除方式 碱洗涤塔与触媒脱硝
填充物 MIRAX FKP327
余热利用 使用热交换器对排气进行热回收
排水量 1,200 ℓ/h
处理排气 NOx 99 %以上(去除率)
HF 1 ppm以下
NH3 10 ppm以下
设置面积 30 m × 15 m × 20 m (高)

设备流程